本公司此次將推出半導體集成電路封測產(chǎn)線快檢專用設備——YTS 500超聲掃描顯微鏡。該產(chǎn)品的展出，吹響了思為儀器重磅入局半導體封測產(chǎn)業(yè)的號角，也是我們助力“中國芯”的起點。

     此產(chǎn)品針對半導體集成電路封測產(chǎn)線線快檢，對塑料分層、粘片空洞、焊接缺陷分析，檢測能力、同步掃描技術、速度倍增；

系統(tǒng)特性

l 整機尺寸：800mm×600mm×1300mm

l 水槽尺寸：380mm×240mm×110mm

l 掃描范圍：手動：260mm×100mm×50mm； 自動：260mm×25mm×50mm

l 典型掃描耗時：≤45s（測試條件：掃描區(qū)域10mm×10mm，分辨率50um）

l 掃描速度：300mm/s

l 圖像推薦分辨率：1～4000um

l 厚度檢測范圍：根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配。

l 定位精度：X/Y≤±1μm，Z≤±10μm

l 重復定位精度：X/Y≤±0.01mm，Z≤±0.02mm

客戶裝機現(xiàn)場